Автоматизированная система напуска газов СНА-2

Цена:

Артикул товара:

8111

Оставить заявку online

Система напуска газа духканальная ИНЖЕКТ (прибор серии СНА-2) предназначен для дистанционного управления напуском газов в ионно-вакуумных установках.

При работе с различными ионно-вакуумными установками возникает необходимость дозированного напуска газов в рабочие камеры. Один из наиболее простых и надежных приборов, служащих для этих целей - двухканальная система напуска ИНЖЕКТ.

В устройствах, имеющих обратную связь, она позволяет:
автоматически поддерживать заданное давление;
выбирать полярность сигнала обратной связи и сдвигать его фазу на 180o;
изменять постоянную времени усилителя обратной связи.
Для отпирания клапана в системе применено пьезострикционное устройство, обеспечивающее дистанционное управление натекателем, работу в режимах "да" и "нет" и модуляцию газового потока.

Наличие двух клапанов дает возможность осуществлять как поочередный, так одновременный напуск двух газов.

Дозирующая пара натекателя: нержавеющая сталь - медь безкислородная.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Диапазон рабочих давлений, Ра 2,66×10-6 ... 13,3

Расход газов при полностью открытом натекателе, m3×Pa/s, не менее 7×10-2

Питание: сеть переменного тока
напряжение, V 220
частота, Hz 50

Потребляемая мощность, VA,не более 40

Габаритные размеры, mm:
блок питания 250×230×140
натекатель 350×100×100

Масса, kg, не более 6