Вакуумный универсальный пост ВУП-5М
Вакуумный универсальный пост ВУП-5М предназначен для получения пленок из различных материалов с высокой производительностью методом магнетронного распыления, а также для подготовки объектов, исследуемых с помощью электронного микроскопа или других аналитических приборов.
Прибор может быть применен для исследований в области физики, химии, биологии, медицины и других областях нayки и техники.
Основные достоинства и особенности прибора:
- универсальность процесса позволяет получить пленки металлов, сплавов и полупроводников;
- высокая скорость осаждения с возможностью ее регулирования в широких пределах;
- сохраненне соотношения компонентов при распылении вещества сложного состава;
- прибор позволяет получить высокую адгезию пленок и подложки;
- возможность изменения структуры и свойств пленок;
- возможность распыления нескольких материалов без разгерметизации объема
- небольшое тепловое воздействие на обрабатываемую структуру.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
- с диффузионным насосом и азотной ловушкой - 2×10-4
- с турбомолекулярным насосом - 6×10-4
Диаметр мишени магнетрона, mm 40
Блок питания DC магнетрона:
- напряжение, V 1100
- ток, mA 300
Блок питания высоковольтный:
- напряжение, kV 7
- ток, mA 50
Блок термического испарения:
- первый испаритель, ток, A 200
- второй испаритель, ток, A 100
Температура нагрева подложки, °C 350
Скорость вращения подложки, rpm 5 — 15
Система напуска и стабилизации давления газа одноканальная (пьезонатекатель)
Размеры рабочего объема (диаметр×высота), mm 300×300
Масса прибора, kg, не более 380
Габаритные размеры, mm
• стойка аналитическая - 620×630×1600
• стойка электрическая - 620×630×1400
Электрическое питание, V 380 / 220
Потребляемая мощность, kVA 4,5
Варианты исполнения приборов ВУП-5М для поставки
| Система откачки |
ВУП-5М-01 |
ВУП-5М-02 |
ВУП-5М-03 |
| Дифузионный насос , 220 V |
+ |
|
|
| Турбомолекулярный насос, 220 V |
|
+ |
|
| Турбомолекулярный насос, 115 V |
|
|
+ |
Дополнительные устройства по требованию заказчика:
кварцевый измеритель толщины
| 
